GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝 现行

标准号：GB/T 36653-2018
中文标准名称：电子级三甲基铝
英文标准名称：Electronic grade trimethylaluminium
标准状态：现行,发布于2018-09-17; 实施于2019-01-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-01-01
中国标准分类号：71.100.20
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：江苏南大光电材料股份有限公司;中国电子技术标准化研究院
相近标准：GB/T 37007-2018 电子级三甲基镓; GB/T 37030-2018 电子级三甲基铟; 20120272-T-469 电子级三甲基镓; 20130014-T-469 电子级三甲基铝; 20130015-T-469 电子级三甲基铟; QB/T 2749-2012 三甲基吡嗪; QB/T 2749-2005 三甲基吡嗪; HG/T 4415-2012 2,3,5-三甲基氢醌; SH/T 1779-2014 1,2,4-三甲基苯; QB/T 4533-2013 脂肪烷基三甲基硫酸甲酯铵