GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告 现行

标准号：GB/T 36053-2018
中文标准名称：X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
英文标准名称：Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
标准状态：现行,发布于2018-03-15; 实施于2019-02-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2018-03-15
实施日期：2019-02-01
中国标准分类号：71.040.40
国际标准分类号：71.040.40
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
执行单位：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国计量科学研究院
采标情况：本标准等同采用ISO国际标准：ISO 16413:2013。
采标中文名称:X射线反射测量法评估薄膜的厚度、密度和界面宽度—仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告。
相近标准：20151803-T-469 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告; X射线反射测量法评估薄膜的厚度、密度和界面宽度—仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告; 20190796-T-469 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法; 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法; DB37/T 2204-2012 工业企业能源数据分析方法; 20130068-T-469 畜禽、水产养殖感知数据分析标准; GB/T 37721-2019 信息技术 大数据分析系统功能要求; 20160597-T-469 信息技术 大数据分析系统功能要求; GB/T 38359-2019 结构用木质材料强度性能数据分析方法; 20131288-T-432 结构用木质材料强度性能数据分析方法