GB/T 35310-2017 200mm硅外延片 现行

标准号：GB/T 35310-2017
中文标准名称：200mm硅外延片
英文标准名称：200mm silicon epitaxial wafer
标准状态：现行,发布于2017-12-29; 实施于2018-07-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2017-12-29
实施日期：2018-07-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：南京国盛电子有限公司;有色金属技术经济研究院
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