GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南 现行

标准号：GB/T 34971-2017
中文标准名称：半导体制造用气体处理指南
英文标准名称：Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry
标准状态：现行,发布于2017-11-01; 实施于2018-02-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2017-11-01
实施日期：2018-02-01
中国标准分类号：71.040.40
国际标准分类号：71.040.40
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中昊光明化工研究设计院有限公司;高麦仪器公司;东莞市联臣电子科技有限公司;上海市计量测试技术研究院;西南化工研究设计院有限公司;广东华特气体股份有限公司;上海华爱色谱分析技术有限公司
相近标准：20132255-T-469 半导体制造用气体处理指南; SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范; QB/T 5369-2019 半导体制冷器具; GB/T 29845-2013 半导体制造设备的*终装配、包装、运输、拆包及安放导则; 20100113-T-469 半导体制造设备的*终装配、包装、运输、拆包及安放导则; SJ/T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求; SJ/T 11395-2009 半导体照明术语; GB/T 14264-2009 半导体材料术语; GB/T 37031-2018 半导体照明术语; 20181808-T-469 半导体材料术语