标准号：GB/T 5226.33-2017
中文标准名称：机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
英文标准名称：Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
标准状态：现行,发布于2017-10-14; 实施于2018-05-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2017-10-14
实施日期：2018-05-01
中国标准分类号：29.020
国际标准分类号：29.020
归口单位：全国工业机械电气系统标准化技术委员会
执行单位：全国工业机械电气系统标准化技术委员会
主管部门：中国机械工业联合会
起草单位：中微半导体设备(上海)有限公司;上海微电子装备有限公司;沈阳拓荆科技有限公司;中晟光电设备（上海）有限公司;盛美半导体设备（上海）有限公司;北京机床研究所;北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司;北京七星华创电子股份有限公司;理想太阳能（上海）有限公司
采标情况：本标准等同采用IEC国际标准：IEC 60204-33:2009。
采标中文名称:机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件。
相近标准：20111071-Q-604 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件; 20141881-T-469 半导体设备安全标识要求; GB/T 15872-2013 半导体设备电源接口; GB/T 15872-1995 半导体设备电源接口; 20064394-T-339 半导体设备电源接口; 20068499-T-522 船舶电气设备 设备 半导体变流器; GB/T 22193-2008 船舶电气设备 设备 半导体变流器; SJ/T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求; 20153730-T-469 300mm半导体设备装载端口要求; 20141882-T-469 半导体设备电压暂降抗扰度要求
GB/T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件 现行
百检网 2021-05-26
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