GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板 现行

标准号：GB/T 34178-2017
中文标准名称：光掩模石英玻璃基板
英文标准名称：Silica glass substrates for photomask
标准状态：现行,发布于2017-09-07; 实施于2018-08-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2017-09-07
实施日期：2018-08-01
中国标准分类号：81.040.30
国际标准分类号：81.040.30
归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
执行单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
主管部门：中国建筑材料联合会
起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司;长沙韶光铬版有限公司;国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心;中建材衢州金格兰石英有限公司;中国建筑材料科学研究总院
相近标准：20141709-T-609 光掩模石英玻璃基板; GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范; JC/T 2205-2014 石英玻璃术语; JC/T 185-2013 光学石英玻璃; JC/T 2245-2014 石英玻璃纤维纱; JC/T 2244-2014 石英玻璃纤维布; GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆; 20141708-T-609 光刻用石英玻璃晶圆; JC/T 652-2011 石英玻璃器皿 烧瓶; JC/T 2426-2017 空心石英玻璃纤维纱