GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法 现行

标准号：GB/T 32278-2015
中文标准名称：碳化硅单晶片平整度测试方法
英文标准名称：Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers
标准状态：现行,发布于2015-12-10; 实施于2017-01-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2015-12-10
实施日期：2017-01-01
中国标准分类号：77.040
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：北京天科合达蓝光半导体有限公司;中国科学院物理研究所
相近标准：20120289-T-469 碳化硅单晶片平整度测试方法; GB/T 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法; 20091221-T-469 碳化硅单晶片直径测试方法; GB/T 30867-2014 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法; 20091225-T-469 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法; SJ/T 11499-2015 碳化硅单晶电学性能的测试方法; 20202830-T-469 碳化硅单晶位错密度的测试方法; 碳化硅单晶位错密度的测试方法; 碳化硅单晶; SJ/T 11501-2015 碳化硅单晶晶型的测试方法