GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法 现行

标准号：GB/T 32189-2015
中文标准名称：氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
英文标准名称：Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope
标准状态：现行,发布于2015-12-10; 实施于2016-11-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2015-12-10
实施日期：2016-11-01
中国标准分类号：77.040
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;苏州纳维科技有限公司
相近标准：20120267-T-469 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法; GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法; 20078478-T-491 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法; 表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序; GB/T 28872-2012 活细胞样品纳米结构的磁驱动轻敲模式原子力显微镜检测方法; GB/T 32262-2015 用于原子力显微镜检测的脱氧核糖核酸样品的制备方法; 20090827-T-491 活细胞样品纳米结构的磁驱动轻敲模式原子力显微镜检测方法; 20078477-T-491 用于原子力显微镜检测的脱氧核糖核酸样品的制备方法; GB/T 32282-2015 氮化镓单晶位错密度的测量 阴*荧光显微镜法; 20120269-T-469 氮化镓单晶位错密度的测量 阴*荧光显微镜法