GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法 现行

标准号：GB/T 32188-2015
中文标准名称：氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
英文标准名称：The method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate
标准状态：现行,发布于2015-12-10; 实施于2016-11-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2015-12-10
实施日期：2016-11-01
中国标准分类号：77.040
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;中国科学院物理研究所;丹东新东方晶体仪器有限公司;苏州纳维科技有限公司;北京天科合达蓝光半导体有限公司
相近标准：20120268-T-469 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法; 20193166-T-469 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法; 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法; GB/T 34612-2017 蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法; 20132163-T-469 蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法; GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范; 20110049-T-469 氮化镓外延片及衬底片通用规范; GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法; 20151534-T-469 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法; 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法