GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法 现行

标准号：GB/T 31227-2014
中文标准名称：原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
英文标准名称：Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
标准状态：现行,发布于2014-09-30; 实施于2015-04-15; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2014-09-30
实施日期：2015-04-15
中国标准分类号：17.040.20
国际标准分类号：17.040.20
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门：中国科学院
起草单位：上海交通大学;纳米技术及应用国家工程研究中心
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