GB/T 29057-2012 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程 现行

标准号：GB/T 29057-2012
中文标准名称：用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
英文标准名称：Practice for evaluation of polocrystalline silicon rods by float-zone crystal growth and spectroscopy
标准状态：现行,发布于2012-12-31; 实施于2013-10-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2012-12-31
实施日期：2013-10-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：四川新光硅业科技有限责任公司;天威四川硅业有限责任公司;乐山乐电天威硅业科技有限责任公司
采标情况：本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF1723-1104。
采标中文名称:用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程。
相近标准：20210890-T-469 区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程; 区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程; 20081144-T-469 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程; GB/T 35309-2017 用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程; 20141880-T-469 用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程; GB/T 15337-1994 原子吸收光谱分析法通则; 20063252-T-606 原子吸收光谱分析法通则; GB/T 15337-2008 原子吸收光谱分析法通则; GB/T 14203-2016 火花放电原子发射光谱分析法通则; 20112253-T-605 火花放电原子发射光谱分析法通则