GB/T 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则 现行

标准号：GB/T 26113-2010
中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
英文标准名称：Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
标准状态：现行,发布于2011-01-10; 实施于2011-10-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
中国标准分类号：31.200
国际标准分类号：31.200
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中机生产力促进中心;天津大学;西安交通大学;中原工学院
相近标准：20075898-T-469 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则; GB/T 26112-2010 微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则; 20075897-T-469 微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则; GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术 术语; 20200872-T-469 微机电系统（MEMS）技术 术语; 微机电系统（MEMS）技术 术语; 20075896-T-469 微机电系统（MEMS）技术 术语; GB/T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法; 20171123-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法; GB/T 34898-2017 微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法