GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量 现行

标准号：GB/T 25755-2010
中文标准名称：真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
英文标准名称：Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics
标准状态：现行,发布于2010-12-23; 实施于2011-10-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2010-12-23
实施日期：2011-10-01
中国标准分类号：23.160
国际标准分类号：23.160
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
执行单位：全国真空技术标准化技术委员会
主管部门：中国机械工业联合会
起草单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司;沈阳真空技术研究所
相近标准：20081720-T-604 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量; 20063642-T-604 真空技术 涡轮分子泵性能参数的测量; GB/T 7774-2007 真空技术 涡轮分子泵性能参数的测量; JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵; CB/T 3858-1999 起锚机和起锚绞盘性能参数; YD/T 1171-2015 IP网络技术要求 网络性能参数与指标; 精密光频测量中光学频率梳性能参数测试方法; GB/T 14218-2018 电子调光设备性能参数与测试方法; 20076582-T-357 电子调光设备性能参数与测试方法; GB/T 14218-1993 电子调光设备性能参数与测试方法