GB/T 14264-2009 半导体材料术语 现行

标准号：GB/T 14264-2009
中文标准名称：半导体材料术语
英文标准名称：Semiconductor materials-terms and definitions
标准状态：现行,发布于2009-10-30; 实施于2010-06-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国有色金属工业标准计量质量研究所;杭州海纳半导体有限公司;有研半导体材料股份有限公司;国瑞电子材料有限责任公司等
全部替代标准：GB/T 14264-1993
相近标准：20181808-T-469 半导体材料术语; 20062494-T-469 半导体材料术语; 半导体材料术语; GB/T 14264-1993 半导体材料术语; GB/T 14844-2018 半导体材料牌号表示方法; 20151789-T-469 半导体材料牌号表示方法; 半导体材料牌号表示方法; GB/T 14844-1993 半导体材料牌号表示方法; GB/T 31469-2015 半导体材料切削液; 20100111-T-469 半导体材料切削液