GB/T 12963-2009 硅多晶 被代替

标准号：GB/T 12963-2009
中文标准名称：硅多晶
英文标准名称：Specification for polycrystalline silicon
标准状态：被代替,发布于2009-10-30; 实施于2010-06-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：峨眉半导体材料厂
全部替代标准：GB/T 12963-1996
被以下标准代替：被GB/T12963-2014GB/T12963-2014全部代替
采标情况：本标准修改采用国际标准：SEMI M16-1103:2003。
采标中文名称:多晶硅规范。
相近标准：20061662-T-469 硅多晶; GB/T 12963-1996 硅多晶; QB 1174-1991 多晶体冰糖; QB/T 1174-2002 多晶体冰糖; GB/T 36706-2018 磷化铟多晶; 20160589-T-469 磷化铟多晶; 磷化铟多晶; YS/T 1359-2020 钽酸锂多晶粉; GB/T 12963-2014 电子级多晶硅; 20194174-T-469 电子级多晶硅