GB/T 24469-2009 电子工业用气体 5N氯化氢 被代替

标准号：GB/T 24469-2009
中文标准名称：电子工业用气体 5N氯化氢
英文标准名称：Gas for electronic industry - 5N hydrogen chloride
标准状态：被代替,发布于2009-10-15; 实施于2009-12-01; 被代替于2015-07-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2009-10-15
实施日期：2009-12-01
中国标准分类号：71.100.20
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：北京华宇同方化工科技开发有限公司;信息产业部标准化四所;光明化工研究设计院
被以下标准代替：被GB/T14602-2014GB/T14602-2014全部代替
相近标准：20070017-T-469 电子工业用气体 5N氯化氢; GB/T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢; 20111285-T-469 电子工业用气体 氯化氢; GB/T 14602-1993 电子工业用气体 氯化氢; GB/T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢; GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢; 20081120-T-469 电子工业用气体 砷化氢; 20081121-T-469 电子工业用气体 硒化氢; GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢; 20062982-T-469 电子工业用气体 磷化氢