GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法 被代替

百检网 2021-05-26
标准号:GB/T 4059-2007
中文标准名称:硅多晶气氛区熔基磷检验方法
英文标准名称:Polycrystalline silicon - examination method - zone - melting on phosphorus under controlled atomosphere
标准状态:被代替,发布于2007-09-11; 实施于2008-02-01; 被代替于2019-11-01; 废止
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
发布日期:2007-09-11
实施日期:2008-02-01
中国标准分类号:77.040.01
国际标准分类号:77.040.01
归口单位:中国有色金属工业协会
执行单位:中国有色金属工业协会
主管部门:中国有色金属工业协会
起草单位:蛾眉半导体材料厂
全部替代标准:GB/T 4059-1983
被以下标准代替:被GB/T4059-2018GB/T4059-2018全部代替
相近标准:GB/T 4059-1983 硅多晶气氛区熔磷检验方法; GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法; 20153657-T-469 硅多晶气氛区熔基磷检验方法; 20031796-T-610 硅多晶气氛区熔基磷检验方法; 硅多晶气氛区熔基磷检验方法; GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法; GB/T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法; GB/T 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法; GB/T 4060-1983 硅多晶真空区熔基硼检验方法; 20153656-T-469 硅多晶真空区熔基硼检验方法

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