GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范 现行

标准号：GB/T 16527-1996
中文标准名称：硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
英文标准名称：Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
标准状态：现行,发布于1996-09-09; 实施于1997-05-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
中国标准分类号：31.200
国际标准分类号：31.200
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：长沙韶光微电子总公司
采标情况：本标准等效采用其他国际标准：SEMI P3:1990。
采标中文名称:。
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