GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件 被代替

标准号：GB/T 15861-1995
中文标准名称：离子束蚀刻机通用技术条件
英文标准名称：Generic specification of ion beam etching system
标准状态：被代替,发布于1995-12-22; 实施于1996-08-01; 被代替于2013-02-15; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
中国标准分类号：31.200
国际标准分类号：31.200
归口单位：工业和信息化部（电子）
执行单位：工业和信息化部（电子）
主管部门：工业和信息化部（电子）
起草单位：电子部长沙半导体工艺设备所
被以下标准代替：被GB/T15861-2012GB/T15861-2012全部代替
相近标准：GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范; 20065766-T-339 离子束蚀刻机通用规范; GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件; DB37/T 1943-2011 锂离子二次电池单体通用技术条件; JB/T 4082-1991 溅射离子泵技术条件; QC/T 1094-2018 摩托车起动用锂离子电池通用技术条件; JB/T 9191-1999 等离子喷焊枪 技术条件; GB/T 30295-2013 氯碱工业用全氟离子交换膜 通用技术条件; 20110018-T-469 氯碱工业用全氟离子交换膜 通用技术条件; JY/T 0583-2020 聚焦离子束系统分析方法通则