GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法 废止

标准号：GB/T 15615-1995
中文标准名称：硅片抗弯强度测试方法
英文标准名称：Test method for measuring flexure strength of silicon slices
标准状态：废止,发布于1995-07-12; 实施于1996-02-01; 废止于2004-10-14
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：1995-07-12
实施日期：1996-02-01
中国标准分类号：77.040.01
国际标准分类号：77.040.01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中南工业大学
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