GB/T 17359-2012 微束分析.能谱法定量分析

标准号：GB/T 17359-2012
中文标准名称：微束分析.能谱法定量分析
英文标准名称：Microbeam analysis.Quantitative analysis using energy dispersive spectrometry
标准类型：N53
发布日期：2012/7/31 12:00:00
实施日期：2013/2/1 12:00:00
中国标准分类号：N53
国际标准分类号：71.040.99
引用标准：GB/T 27025-2008;GB/T 20726-2006;ISO 14594;ISO 16700-2004
适用范围：本标准规定了用安装在扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）上的能谱仪对试样上特定点或特定区域进行定量分析的方法。定量分析是指用质量分数（或百分数）表示元素的含量。正确鉴别试样中所有元素是定量分析中必不可少的组成部分，因此，本标准也包含这方面的内容。本标准提供了多种能谱法定量分析方法，本标准适用于利用参考物质或“无标样”程序对质量分数高于1%的元素进行定量分析。本标准对原子序数大于10的元素的分析置信度更高。本标准也规定了对原子序数小于11的轻元素的分析方法。目前没有公认的轻元素的准确能谱仪（EDS）定量分析方法，以下是几种常用于轻元素分析的EDS方法：a) 测量峰面积并对比峰强度。如附录D中所述的原因，这种方法对轻元素分析结果的不确定度比重元素大。b) 当已知试样中的轻元素以化学计量的方式与重元素（Z>10）结合时，该轻元素的浓度可以通过其他元素的相关浓度比进行测定。这种方法通常用于硅酸盐矿物试样中氧的测定。c) 通过差值法计算浓度，即用****减去能够分析元素的总百分数即为轻元素的百分数。这种方法只有在很好的束流稳定性和单独测量至少一个参考 样品的条件下才能够应用，并且还需要精确测定样品中的其他元素。附录D总结了重元素存在时轻元素定量分析中的问题。如果仪器上安装了能谱仪和波谱仪（WDS）,可以用WDS来克服EDS分析中的低能量谱峰重叠问题。