GB/T 20175-2006 表面化学分析.溅射深度剖析.用层状膜系为参考物质的优化方法

百检网 2021-07-13

标准号：GB/T 20175-2006
中文标准名称：表面化学分析.溅射深度剖析.用层状膜系为参考物质的优化方法
英文标准名称：Surface chemical analysis.Sputter depth profiling.Optimization using layered systems as reference materials
标准类型：N33
发布日期：2006/3/27 12:00:00
实施日期：2006/11/1 12:00:00
中国标准分类号：N33
国际标准分类号：71.040.40
适用范围：为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的，本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。特殊多层膜系（如各种掺杂层膜系）的使用不包括在本标准内。

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