KS D ISO 14706-2003 表面化学分析.用全反射X射线荧光光谱法测定硅圆片表面主要污物

百检网 2021-07-14

标准号：KS D ISO 14706-2003
中文标准名称：表面化学分析.用全反射X射线荧光光谱法测定硅圆片表面主要污物
英文标准名称：Surface chemical analysis－Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence(TXRF) spectroscopy
标准类型：G04
发布日期：2003/12/29 12:00:00
实施日期：2003/12/29 12:00:00
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：71.040.40
适用范围：이 규격은 기계화학적으로(chemomechanically) 연마하거나 에피택셜(epit

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