YS/T 791-2012 铂靶

百检网 2021-07-14

标准号：YS/T 791-2012
中文标准名称：铂靶
英文标准名称：Platinum target
标准类型：H68
发布日期：2012/11/7 12:00:00
实施日期：2013/3/1 12:00:00
中国标准分类号：H68
国际标准分类号：77.120.99
引用标准：GB/T 1182;GB/T 1419-2004;GB/T 15077-2008
适用范围：本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材(以下简称铂靶)，其他用途的铂靶材也可参照使用。

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