YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

标准号：YS/T 837-2012
中文标准名称：溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
英文标准名称：Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies
标准类型：H26;H68
发布日期：2012/11/7 12:00:00
实施日期：2013/3/1 12:00:00
中国标准分类号：H26;H68
国际标准分类号：77.120.99
引用标准：GB 5226.1;GB/T 9445;GB/T 11259;GB/T 12604.1;GB/T 17421.1;GB/T 17421.2;GB/T 18400.6;GB/T 18694;GB/T 18852;GJB 1580A;GJB 9712A;JB/T 8771.4;JB/T 9269
适用范围：本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等，该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。