标准号：GB/T 31351-2014
中文标准名称：碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
标准类型：方法
实施日期：20150901
中国标准分类号：H26
国际标准分类号：77.040.99
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(TC203)
主管部门：国家标准化管理委员会(469)
起草单位：北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所
起草人：陈小龙、郑红军、张玮、郭钰、刘振洲
GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
百检网 2021-07-14
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