DIN EN 62047-2-2007 半导体装置.微型电机装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法

百检网 2021-07-15

标准号：DIN EN 62047-2-2007
中文标准名称：半导体装置.微型电机装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法
英文标准名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials (IEC 62047-2:2006); German version EN 62047-2:2006
标准类型：L40;L94
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：2007/2/1 12:00:00
中国标准分类号：L40;L94
国际标准分类号：31.080.01;31.220.01
引用标准：ISO 6892
适用范围：This International Standard specifies the method for tensile testing of thin film materials with length and width under 1 mm and thickness under 10 ? which are main structural materials for micro-electromechanical systems (MEMS), micromachines and similar devices.#,,#

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