GB/T 24578-2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法现行

百检网 2021-07-15

标准号：GB/T 24578-2015
中文标准名称：硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
英文标准名称：Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy
标准状态：现行
发布日期：2015-12-10
实施日期：2017-01-01
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

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