SJ/Z 2926-1988 集成电路制版设备性能测试方法

百检网 2021-07-16

标准号：SJ/Z 2926-1988
中文标准名称：集成电路制版设备性能测试方法
英文标准名称：Test methods for properties of mask-making equipment for manufacturing of ICs
标准类型：L97
发布日期：1988/3/10 12:00:00
实施日期：1988/10/1 12:00:00
中国标准分类号：L97
国际标准分类号：31-550
适用范围：本指导性技术文件适用于自动刻(绘)图机、图形发生器、精缩照相机三类光学制版设备主要性能测试方法。测试目的在于检查设备的技术性能指标是否达到原设计或使用要求。本指导性技术文件未规定的性能测试方法，应在各类设备技术文件中另行规定。

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