标准号：20200854-T-469
中文标准名称：电子特气 三氟化氮
英文标准名称：Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
标准状态：正在批准
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：昊华气体有限公司
起草人：付梦月
相近标准：GB/T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮; 电子工业用气体 三氟化氮;20051092-T-469 电子工
标准制修订：修订
20200854-T-469 电子特气 三氟化氮 正在批准
百检网 2021-07-16
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