GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备现行

百检网 2021-07-16

标准号：GB/T 37466-2019
中文标准名称：氮化镓激光剥离设备
英文标准名称：Laser lift-off equipment used for GaN
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2019/6/4 12:00:00
实施日期：2019/10/1 12:00:00
中国标准分类号：中国电子技术标准化研究院
国际标准分类号：31-550
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：东莞市中镓半导体科技有限公司
起草人：孙永健
相近标准：20130019-T-469 氮化镓激光剥离设备;GB/T 30854-2014 LED发光用氮化镓基外延片;2011004

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