20202918-T-469 氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法 正在起草

标准号：20202918-T-469
中文标准名称：氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法
英文标准名称：Test method for the content and distribution of trace elements (magnesium, gallium) in aluminum nitride materials—Secondary ion mass spectrometry method
标准状态：正在起草
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：北京科技大学
相近标准：  氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法;  氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法;GB/T 3
标准制修订：制订