SJ/T 31273-1994 EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法

百检网 2021-07-17

标准号：SJ/T 31273-1994
中文标准名称：EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法
英文标准名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for EVP-13480 magnetron sputtering machines
标准类型：L97
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：L97
国际标准分类号：31-550
适用范围：本标准规定了EVP-13480型磁控溅射机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于EVP-13480型磁控溅射机，其它规格的磁控溅射机亦可参照执行。

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