GB/T 21287-2007 电子工业用气体.三氟化氮

标准号：GB/T 21287-2007
中文标准名称：电子工业用气体.三氟化氮
英文标准名称：Gases for electronic industry.Nitrogen trifluoride
标准类型：G86
发布日期：2007/12/14 12:00:00
实施日期：2008/7/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
引用标准：GB 190;GB/T 2723;GB 5099;GB/T 5832.1;GB/T 6681;GB 7144;GB 14194;气瓶安全监察规程;危险化学品安全管理条例;特种设备安全监察条例
适用范围：本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。分子式：NF