GB/T 14264-2009 半导体材料术语

百检网 2021-07-19
标准号:GB/T 14264-2009
中文标准名称:半导体材料术语
英文标准名称:Semiconductor materials-Terms and definitions
标准类型:H80
发布日期:2009/10/30 12:00:00
实施日期:2010/6/1 12:00:00
中国标准分类号:H80
国际标准分类号:29.045
引用标准:ASTM F1241;SEMI M59
适用范围:本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。本标准适用于元素和化合物半导体材料。

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