GB/T 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

百检网 2021-07-19

标准号：GB/T 14144-2009
中文标准名称：硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
英文标准名称：Testing method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon
标准类型：H80
发布日期：2009/10/30 12:00:00
实施日期：2010/6/1 12:00:00
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045
引用标准：GB/T 1557-2006;GB/T 14264-2009
适用范围：本标准采用红外光谱法测定硅晶体中间隙氧含量径向的变化。本标准需要用到无氧参比样品和一套经过认证的用于校准设备的标准样品。本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω•cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω•cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。本标准测量氧含量的有效范围从1×10

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