GB/T 16943-2009 电子工业用气体.氦

百检网 2021-07-19

标准号：GB/T 16943-2009
中文标准名称：电子工业用气体.氦
英文标准名称：Gas for electronic industry.Helium
标准类型：G86
发布日期：2009/10/30 12:00:00
实施日期：2010/5/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
引用标准：GB 190-2009;GB/T 3723-1999;GB 5099-1994;GB/T 5832.1-2003;GB/T 6285-2003;GB 7144-1999;GB/T 8984-2008;GB 14194-2006;GB 16912-2008;气瓶安全监察规程;压力容器安全监察规程;压力管道安全管理与监察规定
适用范围：本标准规定了氦的技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦，以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气、也用作载气和保护气等。

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