GB/T 14139-2009 硅外延片

百检网 2021-07-19

标准号：GB/T 14139-2009
中文标准名称：硅外延片
英文标准名称：Silicon epitaxial wafers
标准类型：H80
发布日期：2009/10/30 12:00:00
实施日期：2010/6/1 12:00:00
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045
引用标准：GB/T 2828.1-2003;GB/T 6617-2009;GB/T 6624-2009;GB/T 12962-2005;GB/T 12964-2003;GB/T 13389-1992;GB/T 14141-2009;GB/T 14142-1993;GB/T 14145-1993;GB/T 14246.1-1993;GB/T 14847-1993;YS/T 24-1992
适用范围：本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的n型外延层(N/N

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