GB/T 17874-2010 电子工业用气体三氯化硼

百检网 2021-07-19

标准号：GB/T 17874-2010
中文标准名称：电子工业用气体三氯化硼
英文标准名称：Gases for electronic industry.Boron trichloride
标准类型：G86
发布日期：2011/1/14 12:00:00
实施日期：2011/5/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
引用标准：GB 190;GB/T 3723;GB 5099;GB 7144;GB/T 8984;GB 14193;GB/T 26571;《气瓶安全监察规程》（国家质量监督检验检疫总局发布，2000年）
适用范围：本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法及标志、包装、贮运及安全。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。

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