KS A 0083-2013 质谱计式检漏仪校准

百检网 2021-07-19

标准号：KS A 0083-2013
中文标准名称：质谱计式检漏仪校准
英文标准名称：Mass spectrometer(type leak) detector general rules for calibration system
标准类型：A50
发布日期：2013/11/5 12:00:00
实施日期：2013/11/5 12:00:00
中国标准分类号：A50
国际标准分类号：01.040.17;23.160
适用范围：이 표준은 질량 분석계를 검지기로 사용하고, 그 분석관을 작동 가능한 진공 상태로 유지하기 위한진공 배기계를 내장하는 질량 분석계형 누출 탐지기(이하 누출 탐지기라 한다.)의 교정 방식에 대하여 규정한다.다만, 이 방법은 주로 헬륨 4를 사용하는 것에 대하여 적용한다.또한 다른 가스를 사용하는 것에도 준용한다.

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