ISO 14706-2014 表面化学分析用总反射X-射线荧光(TXRF)测定法测定硅晶片的表面基本的污染

百检网 2021-07-19

标准号：ISO 14706-2014
中文标准名称：表面化学分析用总反射X-射线荧光(TXRF)测定法测定硅晶片的表面基本的污染
英文标准名称：Surface chemical analysis - Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
标准类型：G04
发布日期：2014/8/1 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：71.040.40
引用标准：ISO 5725-2-1994;ISO 14644-1-1999

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