DIN EN 60204-33-2011 电力机械设备的安全.第33部分:对半导体制造设备的要求(IEC 60204-33-2009,修改版);德文版本EN 60204-33-2011

百检网 2021-07-19

标准号：DIN EN 60204-33-2011
中文标准名称：电力机械设备的安全.第33部分:对半导体制造设备的要求(IEC 60204-33-2009,修改版);德文版本EN 60204-33-2011
英文标准名称：Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment (IEC 60204-33:2009, modified); German version EN 60204-33:2011
标准类型：J09
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：2011/11/1 12:00:00
中国标准分类号：J09
国际标准分类号：13.110;31.080.01
引用标准：IEC 60034-11-2004;IEC 60038;IEC 60073-2002;IEC 60364-4-41-2005;IEC 60364-6-2006;IEC 60417;IEC 60445-2006;IEC 60446-2007;IEC 60447-2004;IEC 60529-1989;IEC 60617;IEC 60695-11-10-1999;IEC 61010-1-2001;IEC 61032-1997;IEC 61310;IEC 61310-1-2007;IEC 61508;IEC 6

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