20154023-T-469 洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级 正在批准

标准号：20154023-T-469
中文标准名称：洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级
英文标准名称：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
标准状态：正在批准
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：深圳市吉隆洁净技术有限公司
国际标准分类号：13.040.35
归口单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
起草人：孙玉澄
相近标准：  洁净室与相关受控环境 第10部分：按表面化学物浓度划分表面洁净度等级;GB/T 25915.9-2018  洁净室及相关受控
标准制修订：制订