GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法 现行

标准号：GB/T 32281-2015
中文标准名称：太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法
英文标准名称：Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2015/12/10 12:00:00
实施日期：2017/1/1 12:00:00
中国标准分类号：北京合能阳光新能源技术有限公司
国际标准分类号：77.040.30
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
起草人：薛抗美
相近标准：20120288-T-469  太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法;  太阳能级硅片切割用喷砂玻璃;