GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告 现行

标准号：GB/T 36053-2018
中文标准名称：X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
英文标准名称：Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2018/3/15 12:00:00
实施日期：2019/2/1 12:00:00
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：71.040.40
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国计量科学研究院
起草人：王梅玲
相近标准：20151803-T-469  X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告;