GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范现行

百检网 2021-07-19

标准号：GB/T 32816-2016
中文标准名称：硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
英文标准名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2016/8/29 12:00:00
实施日期：2017/3/1 12:00:00
中国标准分类号：中机生产力促进中心
国际标准分类号：31.200
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：北京大学
起草人：黄贤
相近标准：20110877-T-469 硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范;GB/T 32814-2016 硅

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