GB/T 34894-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法 现行

标准号：GB/T 34894-2017
中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
英文标准名称：Micro-electromechanical system technology—Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2017/11/1 12:00:00
实施日期：2018/5/1 12:00:00
中国标准分类号：天津大学
国际标准分类号：31.200
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中机生产力促进中心
起草人：朱悦
相近标准：20120467-T-469  微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法;GB/T 34900-