DIN50451-2-2003 半导体工艺的材料检验液体中痕量元素的测定第2部分:用等离子激励发射光谱测定氢氟酸中的钙(Ca)、钴(Co)、铬(Cr)、铜(Cu)、铁(Fe)、镍(Ni)和锌(Zn)

百检网 2021-07-21
标准号:DIN50451-2-2003
中文标准名称:半导体工艺的材料检验液体中痕量元素的测定第2部分:用等离子激励发射光谱测定氢氟酸中的钙(Ca)、钴(Co)、铬(Cr)、铜(Cu)、铁(Fe)、镍(Ni)和锌(Zn)
英文标准名称:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology;determinationoftracesofelementsinliquids;Part2:Calcium(Ca),cobalt(Co),chromium(Cr),copper(Cu),iron(Fe),nickel(Ni)andzinc(Zn)inhydrofluoricacidwithplasma-inducedemissionspectroscopy
中国标准分类号:H80
国际标准分类号:29.045
部分代替标准:DIN50451-2-1990

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