20065634-T-469 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法 已发布

标准号：20065634-T-469
中文标准名称：硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法
英文标准名称：Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption
标准状态：已发布
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：中国电子科技集团公司第四十六研究所
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心
起草人：段曙光
相近标准：GB/T 1558-1997  硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法;GB/T 1558-2009  硅中代位碳原子含量 红外吸
标准制修订：修订