GB/T 15909-2009 电子工业用气体.硅烷(SiH4)

百检网 2021-07-29

标准号：GB/T 15909-2009
中文标准名称：电子工业用气体.硅烷(SiH4)
英文标准名称：Gas for electronic industry-Silane
标准类型：G86
发布日期：2009/10/30 12:00:00
实施日期：2010/5/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
引用标准：GB 190-2009;GB/T 3723-1999;GB 5099-1994;GB/T 5832.1-2003;GB 7144-1999;GB/T 8984-2008;GB 11640;GB 14193
适用范围：本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。

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